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日本光驰镀膜机的蒸镀系统通常采用[color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]物理气相沉积(PVD)中的真空蒸发镀膜方式4。具体过程是在真空条件下,通过加热蒸发源使镀膜材料汽化,然后气态的镀膜材料在基片表面凝聚成膜。
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光驰镀膜机常用的加热蒸发方式有电阻加热和电子束加热。电阻加热源结构简单、操作方便,通过电流通过电阻材料产生热量来加热镀膜材料。电子束加热法是利用热阴极发射的电子在电场作用下,获得动能轰击到作为阳极的蒸发材料上,将其动能转化为加热材料的内能而使材料蒸发。[color=var(--md-box-samantha-normal-text-color) !important]
此外,光驰镀膜机也可能采用 ** 离子辅助沉积(IAD)** 技术4。该技术是在蒸镀过程中,用离子照射基片上蒸镀形成的薄膜,从而改善薄膜的附着力和质量,实现具有良好耐候性的高密度电介质薄膜成膜4。OTFC-1550光学镀膜机配置: |
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工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
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光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
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电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
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[color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]物理气相沉积(PVD)中的真空OTFC-1550光学镀膜机配置: |
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工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
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光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
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电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
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[color=var(--md-box-samantha-deep-text-color) !important]蒸发镀膜[color=var(--md-box-samantha-normal-text-color) ]