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发表于 2025-5-9 17:19 |只看该作者 |倒序浏览

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韩一HVC-1600DA光学镀膜机蒸发源保养指南一、日常清洁与污染控制
  • [color=var(--cos-color-text)]‌蒸发源表面清洁‌

    • 每完成200次镀膜后,使用饱和烧碱(NaOH)溶液清洗蒸发源表面,清除金属蒸气沉积物及残留镀料,再用清水冲洗并彻底干燥78。
    • 靶材区域用无水酒精擦拭,避免氧化铝或金属粉尘堆积影响电子束聚焦精度27。
  • [color=var(--cos-color-text)]‌坩埚残留物处理‌

    • 更换镀膜材料时,需彻底清除坩埚内残余镀料,防止高温下材料混合导致膜层污染25。
    • 使用超声波清洗机清洗坩埚盖板,避免微小颗粒影响密封性58。


二、关键部件维护
  • [color=var(--cos-color-text)]‌电极与加热丝检查‌

    • 每月检查电子枪电极表面氧化情况,若发现烧蚀或变形需及时更换(建议储备原厂电极备件)25。
    • 电阻蒸发源的热丝每运行500小时后测量电阻值,偏差超过±10%需更换,防止局部过热熔断56。
  • [color=var(--cos-color-text)]‌密封圈与冷却系统‌

    • 蒸发源法兰密封圈每半年更换一次,优先选用耐高温氟橡胶材质,避免真空泄漏导致镀膜效率下降68。
    • 每周检查蒸发源冷却水管路,确保流量≥20L/min、水温≤35℃,防止因过热导致电极变形


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