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标题: 二手高精密晶圆片双面减溥机 晶圆片镜面抛光机 研磨机 精磨机16B [打印本页]

作者: HC112233    时间: 2025-5-15 10:41
标题: 二手高精密晶圆片双面减溥机 晶圆片镜面抛光机 研磨机 精磨机16B
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(, 下载次数: 58) (, 下载次数: 72) (, 下载次数: 62) (, 下载次数: 59) (, 下载次数: 56) (, 下载次数: 57) (, 下载次数: 76) 1.设备主要规格
类型
项目
0其他
动力
3相220V,50Hz
[size=10.5000pt]
设备尺寸
1800L x1550W x2850H(电气/空气箱除外)
[size=10.5000pt]
控制
触摸屏和PLC控制
[size=10.5000pt]
气压
最大5~6Kg/cm²。
[size=10.5000pt]
板尺寸
波尔
φ 384 x φ 1140 x55T[SUS410]
[size=10.5000pt]
ts底板
R.P.M
最大46 R.P.M(逆变驱动)
[size=10.5000pt]
发动机
7.5千瓦x4P
[size=10.5000pt]
方法
蜗轮(DEC.RATE 1/25)箱式传动
[size=10.5000pt]
ts平顶
R.P.M
最大20 R.P.M(逆变器驱动)
[size=10.5000pt]
发动机
3.7千瓦x4P
[size=10.5000pt]
方法
蜗轮(DEC.RATE 1/60)箱传动
[size=10.5000pt]
顶部空气压力。 气缸
φ 180X550ST(低摩擦气缸)
[size=10.5000pt]
设置工件大小
sunarscale unitcontrol(研磨)
[size=10.5000pt]
ts运营商
载体尺寸
P.C.D φ 423.34[Dp=12/Z=200]
[size=10.5000pt]
插入量
5EA
[size=10.5000pt]
工作尺寸
[size=10.5000pt]
[size=10.5000pt]
内齿轮
P.C.D φ 1185.34[Dp=12/Z=560]
[size=10.5000pt]
R.P.M
最大23R.P.M(伺服电机 驱动器)
发动机
HC-SFS352[3.5 kW]
方法
行星齿轮DEC.DR IVE(de
c.rate 1/14)
上下
齿轮马达0.4 kW.1/60
35届
太阳齿轮
P.C.D φ 338.67[Dp=12/Z=160]
[size=10.5000pt]
[size=10.5000pt]
R.P.M
最大29R.P.M(伺服驱 动)
发动机
[size=10.5000pt]
发动机
HC-SFS152[1.5 kW]
[size=10.5000pt]
方法
行星geardec,dr ive1 2月率1/60)
[size=10.5000pt]
上下
手动操作
20日
※以上规格可随时更改以获得更好的性能。


file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/ksohtml944/wps3.jpgfile:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/ksohtml944/wps4.jpgfile:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/ksohtml944/wps5.jpgfile:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/ksohtml944/wps6.pngC/M/T
C.M.T.有限公司。
file:///C:/Users/ADMINI~1/AppData/Local/Temp/ksohtml944/wps7.png
2.设备的基本情况
1)设备的基本概念
该设备采用4向模式,并提供从4向模式到工作的运动。
顶板、底板、太阳轮和内齿轮相互独立旋转,可以加工工件的两侧,加工应力小,提高了工件的平 行度和平面度。
4向模式使行星在板上完全运动,因此可以减少单面磨损,并且可以使用电动调节器调节气压范围。 通过四向运动和使用精确计算的传动比,可以减少载体在保持和维护工作时发生的问题。
通过这一点,可以使用薄载体,并且可以实现薄工作的过程和更长的载体寿命。
2)设备的发展及其特点
CMT一直在开发精密平面gr inder ,改善薄膜产品的基本特性。
特别是,我们正在努力研究和开发能够在截面和两侧薄而安全地加工晶体、氧化物、硅片、薄膜玻 璃等的高精度平面化设备。
考虑到其作为机床的特点,设计和制造了Our双面搭接/POL机床,以显示其效率。
与此同时,欧洲或日本制造的机器被引入韩国,但由于价格高,很难投资,一些韩国公司被引入, 但由于效率低,出现了一些问题。
在生产这台双面搭接机时,我们想给你一些帮助。此外,我们将努力提高我们的技术技能和产品的 改进。
搭接/杆/底板☑无级变传动
顶部/底部板单独工作,它们在每个逆变器上以最大20转/分(顶部/底部板)的速度进行无级变速器 。触摸屏显示板的当前R.P.Mof。
☑内齿轮和太阳齿轮级变速器
内齿轮/太阳齿轮可以通过伺服电机在内齿轮最大23R.P.M/太阳齿轮29r.p.m范围内进行单 独的CVT,并旋转托架和工作的研磨方向。
可以使用触摸屏☑工作理器
为了优化每个模型的工作条件,它使用触摸屏并在每个步骤中输入和处理压力、顶部机器人汤姆板 旋转和太阳齿轮旋转数据。







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